| 发明名称 |
PROFILE MEASURING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08219752(A) |
申请公布日期 |
1996.08.30 |
| 申请号 |
JP19950027160 |
申请日期 |
1995.02.15 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
SHIOZAWA HISASHI;ITAKURA YOSHITSUGU |
| 分类号 |
G01B7/28;B23Q33/00;G01B7/012;G01B21/00;G01B21/20;(IPC1-7):G01B21/00 |
主分类号 |
G01B7/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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