发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08222644(A) 申请公布日期 1996.08.30
申请号 JP19950049037 申请日期 1995.02.14
申请人 NEC CORP 发明人 MOGAMI TORU
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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