发明名称 Einrichtung für die Verhinderung von Überschlägen in Vakuum-Zerstäubungsanlagen
摘要
申请公布号 DE59303309(D1) 申请公布日期 1996.08.29
申请号 DE19935003309 申请日期 1993.08.27
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 STUERMER, JOHANN, D-63579 FREIGERICHT, DE;LUEBBEHUSEN, MICHAEL, DR., D-63486 BRUCHKOEBEL, DE;THORN, GERNOT, DIPL.-ING., D-63454 HANAU, DE
分类号 H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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