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发明名称 TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08218174(A) 申请公布日期 1996.08.27
申请号 JP19950046343 申请日期 1995.02.10
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON TOHOKU LTD 发明人 CHIBA HIDESHIGE;SATO SATOSHI
分类号 B01J19/00;C21D1/74;C23C16/44;C23C16/455;C23F4/00;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
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