| 发明名称 |
SHOWER HEAD-TYPE CVD DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08218171(A) |
申请公布日期 |
1996.08.27 |
| 申请号 |
JP19950020820 |
申请日期 |
1995.02.08 |
| 申请人 |
NIPPON SANSO KK |
发明人 |
ARAI ASAKO;MATSUMOTO ISAO;TABUCHI TOSHIYA |
| 分类号 |
C30B25/10;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C30B25/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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