发明名称 DESCENDING FLOW-STRAIGHTENING TYPE IMMERSION CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08215648(A) 申请公布日期 1996.08.27
申请号 JP19950029029 申请日期 1995.02.17
申请人 DAN KAGAKU:KK 发明人 HIRATSUKA YUTAKA;FUJIKAWA NOBUYUKI
分类号 B08B3/04;B08B3/10;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/04 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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