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发明名称 Photolackzusammensetzung und Strukturierungsmethode
摘要
申请公布号 DE69120842(D1) 申请公布日期 1996.08.22
申请号 DE1991620842 申请日期 1991.03.06
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KOTACHI, AKIKO, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA 223, JP;TAKECHI, SATOSHI, MACHIDA-SHI, TOKYO 194, JP
分类号 C08F20/02;C08F20/22;C08F20/52;C08F30/08;C08F220/02;C08F220/22;C08F220/56;C08F220/58;C08F230/08;G03F7/004;G03F7/075;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3213;(IPC1-7):G03F7/075 主分类号 C08F20/02
代理机构 代理人
主权项
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