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发明名称 Strahlzufuhrvorrichtung und zugehöriges Verfahren für die Interferometrie
摘要
申请公布号 DE19601692(A1) 申请公布日期 1996.08.22
申请号 DE1996101692 申请日期 1996.01.18
申请人 NIKON PRECISION INC., BELMONT, CALIF., US 发明人 AIYER, ARUN A., FREMONT, CALIF., US
分类号 G01B9/02;G02B27/28;(IPC1-7):G01J9/02;G01J4/00 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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