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发明名称 EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08213311(A) 申请公布日期 1996.08.20
申请号 JP19950261542 申请日期 1995.10.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YANAGISAWA TOSHIO;NOMA AKIRA
分类号 G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027;G03B27/32 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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