发明名称 BURN-IN COMPOSITE AND BURN-IN SYSTEM EMPLOYING IT
摘要
申请公布号 JPH08211122(A) 申请公布日期 1996.08.20
申请号 JP19950037546 申请日期 1995.01.31
申请人 TABAI ESPEC CORP 发明人 OI KENICHI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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