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发明名称 PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08209351(A) 申请公布日期 1996.08.13
申请号 JP19950013491 申请日期 1995.01.31
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO TADASHI;ICHIMURA SATOSHI
分类号 H05H1/46;C23C16/50;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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