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发明名称 METHOD OF PRECIPITATION OF POLYCRYSTAL SILICONFILMS
摘要
申请公布号 RU1814468(C) 申请公布日期 1996.08.10
申请号 SU19914939796 申请日期 1991.05.30
申请人 NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "INTEGRAL" 发明人 TURTSEVICH A.S.;LESNIKOVA V.P.;SARYCHEV O.E.;MAKAREVICH I.I.;KRAVTSOV S.V.
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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