发明名称 MULTILAYER INERCONNECTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08204010(A) 申请公布日期 1996.08.09
申请号 JP19950031567 申请日期 1995.01.27
申请人 RICOH CO LTD 发明人 HIROSE TOSHIMASA
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/318;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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