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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Prozesssteuerung eines Strahlung aussendenden Materials
摘要
申请公布号 DE69209270(T2) 申请公布日期 1996.08.08
申请号 DE19926009270 申请日期 1992.12.11
申请人 KAWASAKI STEEL CORP., KOBE, YOGO, JP 发明人 MARUI, TOMOHIRO, FUCHU-SHI, TOKYO 183, JP;ARAI, KAZUO, CHIBA-SHI, CHIBA 260, JP
分类号 G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06;G01J5/60;G01J5/00 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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