红色发光磷化镓液相外延舟

摘要

一种红色发光磷化镓液相外延舟，其特征是腔体I、II、III为叠式同轴布置，基片支架5置于腔体II内，操作杆G带动腔体I作水平移动及带动腔体I、II作上下运动。P型磷化镓外延层组分在封闭的腔体I内加热成熔体，操作杆G带动腔体I作水平移动，熔体经通道A注入腔体II内，衬底在腔体II内完成P型磷化镓外延层生长和退火处理后，操作杆G将腔体I和II提起，腔体II中的熔体经通道B进入腔体III。

主权项

1.一种红色发光磷化镓液相外延舟，包括腔体[I][II][III]，连接板，基片支架，螺钉，操作杆，其中连接板上开有导向槽，连接板及操作杆由螺钉固定连接，其特征在于：腔体[I]、连接板[41]、腔体[II][III]为叠式同轴布置，腔体[I][II][III]分别由箱体[11][21][31]和盖板[12][22][32]构成，盖板[12]上设有吊环[13]，箱体[11]、连接板[41][43][44]胶接为一体，腔体[I]与腔体[II]之间设有通道[A]和放气孔[A′]，装好N型磷化镓衬底的基片支架[5]置于腔体[II]内，连接板[42]与箱体[21]胶接为一体，箱体[21]置于箱体[31]内，其底部设有通道[B]，由计算机控制的步进马达驱动操作杆[G]带动腔体[I]作水平移动和带动腔体[I][II]作上下运动。