发明名称
摘要
申请公布号 JP2522439(B2) 申请公布日期 1996.08.07
申请号 JP19900133009 申请日期 1990.05.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 EGUCHI KOJI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8228;H01L27/082;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/822 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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