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发明名称 ARC VAPORIZATION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH08199346(A) 申请公布日期 1996.08.06
申请号 JP19950027524 申请日期 1995.01.23
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 MURAKAMI HIROSHI;KITAGAWA TEI;HIRATSUKA HARUO;ISHII TAKAYA;OKAMOTO KOJI;DOI AKIRA
分类号 C23C14/24;C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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