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发明名称 CENTRALIZED VACUUM DISCHARGE SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH08200221(A) 申请公布日期 1996.08.06
申请号 JP19950023293 申请日期 1995.01.19
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 SAWADA HITOSHI
分类号 F04B37/16;(IPC1-7):F04B37/16 主分类号 F04B37/16
代理机构 代理人
主权项
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