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发明名称 Verfahren zum Herstellen von abgeschiedener Metallschicht, die Aluminium als Hauptkomponente enthält, mit Anwendung von Alkylaluminiumhydrid
摘要
申请公布号 DE69120446(D1) 申请公布日期 1996.08.01
申请号 DE19916020446 申请日期 1991.02.18
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUMOTO, SHIGEYUKI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;IKEDA, OSAMU, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号 C23C16/20;C23C16/46;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 主分类号 C23C16/20
代理机构 代理人
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