| 发明名称 |
Reinigungsmittel für eine Form zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes und Verfahren zum Reinigen der Form unter Verwendung desselben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69708442(D1) |
申请公布日期 |
2002.01.03 |
| 申请号 |
DE19976008442 |
申请日期 |
1997.06.26 |
| 申请人 |
NITTO DENKO CORP., IBARAKI |
发明人 |
TAKASHIMA, KOUICHI |
| 分类号 |
C11D7/26;B29C33/72;C11D3/28;C11D7/32;C11D7/44;C11D7/60;C11D11/00;C11D17/04;C11D17/06;H01L21/304;H01L21/56;(IPC1-7):B29C33/72 |
主分类号 |
C11D7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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