| 发明名称 |
Thin film forming apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9611007(D0) |
申请公布日期 |
1996.07.31 |
| 申请号 |
GB19960011007 |
申请日期 |
1993.11.29 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/28;C23C14/34;C23C14/54;C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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