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发明名称 Quantitative Beurteilung der geometrischen Abweichung hervorgerufen durch das Profil eines Halbleiterplättchens
摘要
申请公布号 DE69025880(T2) 申请公布日期 1996.07.25
申请号 DE19906025880T 申请日期 1990.12.18
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L., AGRATE BRIANZA, MAILAND/MILANO, IT 发明人 BARLOCCHI, GABRIELE, I-20010 CORNAREDO, IT;GHIRONI, FABRIZIO, I-54028 VILLAFRANA LUNIGIANA, IT
分类号 G01B7/28;H01L21/66;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/66;G01B5/28;G01B5/30 主分类号 G01B7/28
代理机构 代理人
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