发明名称 |
从废水中除去金属离子 |
摘要 |
本发明公开了一种用来清洁含溶解状态的金属离子,过氧化氢,和高含量固体粒子,如浓度大于约50毫克/升的微粒状固体粒子废水的新型方法和设备。碳吸收柱除去含高含量固体粒子的废水进料中的过氧化氢。化学沉淀单元从溶液中除去金属离子。该方法和设备从集成电路微芯片的化学机械抛光(CMP)处理产生的高含量固体粒子的副产物抛光浆中除去金属离子如铜离子,并生成环保清洁的排放废水。 |
申请公布号 |
CN1211290C |
申请公布日期 |
2005.07.20 |
申请号 |
CN99806589.7 |
申请日期 |
1999.07.09 |
申请人 |
尤斯菲尔特有限公司 |
发明人 |
小佛兰克·L·沙斯萨曼;詹姆斯·L·费奥森;菲利浦·M·坎普 |
分类号 |
C02F1/28;C02F1/52;C02F9/00 |
主分类号 |
C02F1/28 |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
过晓东 |
主权项 |
1.一种从废水中除去金属离子的方法,包括:(a)提供用于接收在溶液中含有金属离子和过氧化氢的废水进料的碳柱,将废水进料流经所说的碳柱以降低所说的过氧化氢的浓度并形成过氧化氢浓度少于约1毫克/升(1ppm)的碳床流出物,其中所说的废水进料含有大小范围约为0.01-1.0μm浓度高于约50毫克/升的固体粒子;以及(b)提供用于接收从所说的碳床产生的碳床产物并从溶液中除去所说的金属离子的化学沉淀单元操作。 |
地址 |
美国宾夕法尼亚州 |