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发明名称 PLASMA ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08191061(A) 申请公布日期 1996.07.23
申请号 JP19950002402 申请日期 1995.01.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 ANAMI HIDETOSHI;OHARA KAZUHIRO;OTSUBO TORU;KAMIMURA TAKASHI
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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