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经营范围
发明名称
Verfahren und Geräte zur Einschränkung des Plasma-Ätzgebietes zur Erlangung präziser Formgestaltung von Substratöberflächen
摘要
申请公布号
DE69211508(D1)
申请公布日期
1996.07.18
申请号
DE19926011508
申请日期
1992.12.10
申请人
HUGHES AIRCRAFT CO., LOS ANGELES, CALIF., US
发明人
ZAROWIN, CHARLES B., ROWAYTON, CT 06853, US;BOLLINGER, L.D., RIDGEFIELD, CT 06877, US
分类号
C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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