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经营范围
发明名称 RESIN SEALING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH08186138(A) 申请公布日期 1996.07.16
申请号 JP19940337049 申请日期 1994.12.27
申请人 DISCO ABRASIVE SYST LTD 发明人 TANITSU KOJI
分类号 H01L21/66;H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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