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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR SUBSTRATE SPIN COATING
摘要
申请公布号 JPH08186072(A) 申请公布日期 1996.07.16
申请号 JP19940340369 申请日期 1994.12.28
申请人 SONY CORP 发明人 IKEDA RIKIO
分类号 G03F7/16;B05C11/08;B05D1/40;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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