发明名称 SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE AND SAMPLE IMAGE OBSERVING METHOD USING IT
摘要
申请公布号 JPH08185823(A) 申请公布日期 1996.07.16
申请号 JP19940327068 申请日期 1994.12.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO MITSUGI
分类号 H01J37/20;H01J37/141;H01J37/145;H01J37/153;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/153 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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