| 摘要 |
Устройство ввода газов в камеру осаждения, содержащее осевой патрубок для ввода парогазовой смеси, снабженный насадкой, отличающееся тем, что внутреннее отверстие осевого патрубка и верхняя часть насадки выполнены в виде концентрично расположенных сопел Лаваля, при этом насадка установлена на осевом патрубке с зазором. |
