| 发明名称 |
FORMATION OF WIRING MADE MAINLY OF COPPER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08181147(A) |
申请公布日期 |
1996.07.12 |
| 申请号 |
JP19940322211 |
申请日期 |
1994.12.26 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YAMANOBE TOMOMI;IGARASHI YASUSHI |
| 分类号 |
H01L21/3213;H01L21/3205;H01L21/324;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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