发明名称 SEMICONDUCTOR RESIN MOLDING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH08181159(A) 申请公布日期 1996.07.12
申请号 JP19940318204 申请日期 1994.12.21
申请人 TOSHIBA FA SYST ENG KK;TOSHIBA CORP 发明人 SAWADA HIROYUKI;TAKEGAWA YUJI
分类号 H01L21/56;B29C45/38;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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