发明名称 |
SEMICONDUCTOR RESIN MOLDING EQUIPMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08181159(A) |
申请公布日期 |
1996.07.12 |
申请号 |
JP19940318204 |
申请日期 |
1994.12.21 |
申请人 |
TOSHIBA FA SYST ENG KK;TOSHIBA CORP |
发明人 |
SAWADA HIROYUKI;TAKEGAWA YUJI |
分类号 |
H01L21/56;B29C45/38;(IPC1-7):H01L21/56 |
主分类号 |
H01L21/56 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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