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发明名称 FILM THICKNESS EQUALIZING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08181072(A) 申请公布日期 1996.07.12
申请号 JP19940322653 申请日期 1994.12.26
申请人 NEC CORP 发明人 TSUDA KOJI
分类号 C30B23/04;C23F4/00;C30B33/08;C30B33/12;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/203;H01L21/306 主分类号 C30B23/04
代理机构 代理人
主权项
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