| 发明名称 |
METHOD OF CLEANING DRYETCHING DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08181112(A) |
申请公布日期 |
1996.07.12 |
| 申请号 |
JP19940319836 |
申请日期 |
1994.12.22 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP;ASAHI GLASS CO LTD |
发明人 |
MATSUURA MEGUMI;ISHIBASHI TATSUO;OSAKI SABURO |
| 分类号 |
C23G5/00;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23G5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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