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发明名称 Abschwächungsphasenschiebermaske und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE4404453(C2) 申请公布日期 1996.07.11
申请号 DE19944404453 申请日期 1994.02.11
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YOSHIOKA, NOBUYUKI, ITAMI, HYOGO, JP;MIYAZAKI, JUNJI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 G03F1/00;(IPC1-7):G03F1/14;G03F1/08 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
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