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发明名称 Metal CVD process with post-deposition removal of alloy produced by CVD process.
摘要
申请公布号 EP0666588(A3) 申请公布日期 1996.07.10
申请号 EP19950101648 申请日期 1995.02.07
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 FUJITA, TOSHIAKI
分类号 H01L21/285;C23F4/00;H01L21/306;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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