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发明名称 COATER AND COATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH08173875(A) 申请公布日期 1996.07.09
申请号 JP19940320497 申请日期 1994.12.22
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 BABA TAKAYUKI
分类号 G03F7/16;B05C5/00;B05C5/02;(IPC1-7):B05C5/02 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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