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发明名称
BAR CODE REMOTE RECOGNITION SYSTEM FOR PROCESS CARRIERS OF WAFER DISKS
摘要
申请公布号
EP0382797(B1)
申请公布日期
1996.07.03
申请号
EP19890902909
申请日期
1989.02.17
申请人
FLUOROWARE, INC.
发明人
MILBRETT, LYNN
分类号
G06K7/10;G06K19/02;G07C3/00;(IPC1-7):G06K17/00
主分类号
G06K7/10
代理机构
代理人
主权项
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