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发明名称 FORMATION OF FILM
摘要
申请公布号 JPH08170163(A) 申请公布日期 1996.07.02
申请号 JP19950197996 申请日期 1995.07.11
申请人 EBARA CORP;HATAMURA YOTARO 发明人 HATAKEYAMA MASAKI;ICHIKI KATSUNORI;OBATA TADASUKE;HATAMURA YOTARO;NAKAO MASAYUKI
分类号 C23C14/04;B81C1/00;C23C14/50;C23C16/04;C23C16/44;C23C16/48;(IPC1-7):C23C14/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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