发明名称 Beleuchtungssystem geeignet für Anwendungen in der Metrologie sowie Koordinatenmessgerät mit einem solchen Beleuchtungssystem
摘要 Die Erfindung betrifft ein Beleuchtungssystem 30; 30a; 50; 50a; 50b; 50c; 60; 70; 80; 90 zur Erzeugung eines Auflicht-Hellfeldes für Messtechnikanwendungen umfassend mehrere Lichtquellen 31, 32, 33 mit zueinander unterschiedlichen Emissionsspektren und mindestens einen dichroitischen Strahlteiler 35 zur Überlagerung bzw. Zusammenführung des Lichts von zumindest zwei der Lichtquellen 31, 32, 33 entlang einer optischen Achse des Beleuchtungssystems 30; 30a; 50; 50a; 50b; 50c; 60; 70; 80; 90, wobei auf dem Lichtweg von den Lichtquellen 31, 32, 33 zu dem zu beleuchtenden Feld des Beleuchtungssystems 30; 30a; 50; 50a; 50b; 50c; 60; 70; 80; 90 zwischen den Lichtquellen 31, 32, 33 und dem mindestens einen Strahlteiler 35 und/oder zwischen dem mindestens einen Strahlteiler 35 und dem zu beleuchtenden Feld mindestens ein erstes Homogenisierungsmittel 37a, 38a, 39a, 40; 41; 51, 52, 53 zur Lichtmischung vorgesehen ist und wobei das mindestens eine Homogenisierungsmittel 37a, 38a, 39a, 40; 41; 51, 52, 53 zur Lichtmischung ausgewählt oder zusammengesetzt ist aus den optischen Elementen der Gruppe: Stabintegratoren, Hohlraumintegratoren, Faserbündel, Linsen- und/oder Spiegel-Arrays, und wobei auf oder an dem mindestens einen dichroitischen Stahlteiler (35) mindestens eine erste Sammellinse (37, 38, 39; 37a, 38a, 39a; 55; 55a) mittels additiver Bearbeitungsverfahren, abtragender Bearbeitungsverfahren und/oder durch das Aufbringen eines getrennt gefertigten optischen Elementes in Form einer Asphäre, einer Fresnel-Linse und/oder eines diffraktiven optischen Elements (DOE) ausgebildet ist. Ferner betrifft die Erfindung ein Koordinatenmessgerät mit einem solchen Beleuchtungssystem 30; 30a; 50; 50a; 50b; 50c; 60; 70; 80; 90.
申请公布号 DE102015213698(B3) 申请公布日期 2016.09.08
申请号 DE201510213698 申请日期 2015.07.21
申请人 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH 发明人 Haverkamp, Nils;Schlesener, Frank;Degen, Artur
分类号 G01B21/04;F21V13/00;G01B5/008;G01B11/03;G01B11/24;G02B3/00;G02B19/00;G02B27/09 主分类号 G01B21/04
代理机构 代理人
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