发明名称 Energy filter for charged particle beam apparatus
摘要
申请公布号 EP0470299(B1) 申请公布日期 1996.06.26
申请号 EP19900202152 申请日期 1990.08.08
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 ROSE, HARALD
分类号 G21K3/00;H01J37/05;H01J49/44;H01J49/48;(IPC1-7):H01J37/05 主分类号 G21K3/00
代理机构 代理人
主权项
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