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发明名称
Energy filter for charged particle beam apparatus
摘要
申请公布号
EP0470299(B1)
申请公布日期
1996.06.26
申请号
EP19900202152
申请日期
1990.08.08
申请人
PHILIPS ELECTRONICS N.V.
发明人
ROSE, HARALD
分类号
G21K3/00;H01J37/05;H01J49/44;H01J49/48;(IPC1-7):H01J37/05
主分类号
G21K3/00
代理机构
代理人
主权项
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