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发明名称 VACUUM PROTECTOR
摘要
申请公布号 JPH08166500(A) 申请公布日期 1996.06.25
申请号 JP19940333388 申请日期 1994.12.15
申请人 NIKON CORP 发明人 SUGIZAKI KATSUMI
分类号 G01M3/26;B01J3/03;F16J12/00;G21K1/06;G21K5/02;G21K7/00;H01J37/18;H01J49/24;(IPC1-7):G21K7/00 主分类号 G01M3/26
代理机构 代理人
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