| 发明名称 |
SPUTTERING APPARATUS HAVING ROTARY MAGNET ARRAY AND FIXED ELECTROMAGNET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08165568(A) |
申请公布日期 |
1996.06.25 |
| 申请号 |
JP19940100572 |
申请日期 |
1994.04.14 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOC INC |
发明人 |
DEBITSUDO JIEI HAARA;RARII DEII HAATOSOO |
| 分类号 |
C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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