| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08167622(A) |
申请公布日期 |
1996.06.25 |
| 申请号 |
JP19940312248 |
申请日期 |
1994.12.15 |
| 申请人 |
MURATA MFG CO LTD |
发明人 |
KOBAYASHI ATSUSHI;YAMAMOTO TEIJI |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/324;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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