发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08162477(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 JP19940299160 申请日期 1994.12.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ASAI SATORU
分类号 H01L29/872;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/872
代理机构 代理人
主权项
地址