| 发明名称 |
Procédé et dispositif pour quantifier in situ la morphologie et l'épaisseur dans une zone localisée d'une couche superficielle en cours de traitement sur une structure à couches minces . |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2718231(B1) |
申请公布日期 |
1996.06.21 |
| 申请号 |
FR19940003981 |
申请日期 |
1994.04.05 |
| 申请人 |
SOFIE |
发明人 |
CANTELOUP JEAN;MATHIAS JACKY |
| 分类号 |
G01B11/06;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/06;G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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