发明名称 MANUFACTURE OF RESIST RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH08160616(A) 申请公布日期 1996.06.21
申请号 JP19940332122 申请日期 1994.12.12
申请人 TOAGOSEI CO LTD 发明人 OKAZAKI EIICHI;NITTA MASAO;NAKAGAWA SUMIE;OTA HIROYUKI
分类号 G03F7/027;C08F290/00;C08F299/00;C08G59/14;C08G59/16;C08G59/17;C08G59/40;H05K3/28;(IPC1-7):G03F7/027 主分类号 G03F7/027
代理机构 代理人
主权项
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