发明名称 Vorrichtung zum Beschichten von Substraten durch Kathodenzerstäubung
摘要
申请公布号 DE59107781(D1) 申请公布日期 1996.06.13
申请号 DE19915007781 申请日期 1991.01.30
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 HENSEL, BERND, DIPL.-ING., W-6230 FRANKFURT AM MAIN 80, DE;HOFMANN, DIETER, DIPL.-ING., W-6454 BRUCHKOEBEL, DE;ECKHARDT, GUNTER, DIPL.-ING., W-6450 HANAU AM MAIN 1, DE;KOPACZ, UWE, DR.-PHYS., W-6452 HAINBURG 1, DE;SCHUESSLER, HANS, DIPL.-ING., W-6685 SCHIFFWEILER, DE
分类号 C23C14/35;C23C14/50;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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