申请人 |
LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE |
发明人 |
HENSEL, BERND, DIPL.-ING., W-6230 FRANKFURT AM MAIN 80, DE;HOFMANN, DIETER, DIPL.-ING., W-6454 BRUCHKOEBEL, DE;ECKHARDT, GUNTER, DIPL.-ING., W-6450 HANAU AM MAIN 1, DE;KOPACZ, UWE, DR.-PHYS., W-6452 HAINBURG 1, DE;SCHUESSLER, HANS, DIPL.-ING., W-6685 SCHIFFWEILER, DE |