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发明名称 INSULATING FILM-FORMING SOG, INSULATING FILM, AND FORMING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH08153792(A) 申请公布日期 1996.06.11
申请号 JP19940317684 申请日期 1994.11.28
申请人 SONY CORP 发明人 NAKAJIMA HIDEHARU
分类号 H01L21/3205;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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