| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08153787(A) |
申请公布日期 |
1996.06.11 |
| 申请号 |
JP19940294620 |
申请日期 |
1994.11.29 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
INAGAWA HIROMI;YAMANE MASAO;SUGIMOTO ARITOSHI;MIYASHITA ISAO |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
