| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE, ITS MANUFACTURE AND SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08148629(A) |
申请公布日期 |
1996.06.07 |
| 申请号 |
JP19950182920 |
申请日期 |
1995.07.19 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU AUTOM LTD |
发明人 |
SEKI MASAAKI;SONO RIKURO;YAMAGUCHI ICHIRO;MITOBE KAZUHIKO;HAYASHI KIYOMI;OTAKE KOKI;ABE SUSUMU;KASAI JUNICHI;SAKUMA MASAO;SUZUKI YOSHIMI;NIIMA YASUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L21/56;H01L23/04;H01L23/12;H01L23/36;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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